非接觸式高精度激光測振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
非接觸式單點(diǎn)激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
高精度激光測振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
非接觸式激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
